В литературе нет данных о трехкомпонентных системах: переходный металл IV—VI групп периодической системы — кремний — углерод (азот), о взаимодействии силицидов с углеродом (азотом), карбидов (нитридов) с кремнием и, наконец, силицидов с карбидом (нитридом) при высоких температурах. Некоторые аналогии могут быть выведены, например, из системы Fe—Si—С.
Плавка силицидов в графитовых тиглях показывает, что у кремния сродство с переходными металлами в момент образования и в особенности при температуре плавления больше, чем у углерода. Образование твердых растворов между силицидами и карбидами мало вероятно и если возможно, то лишь в крайне ограниченной степени.
Из этих же данных следует, что силициды в присутствии азота склонны к образованию нитридов. Замещение кремния в силицидах азотом и азота в нитридах кремнием при образовании твердых растворов совершенно исключено.